ASML 光刻机工厂发生火灾 台积电：不担心影响 EUV 产能继续推进

　　原标题：ASML 光刻机工厂发生火灾 台积电：不担心影响 EUV 产能继续推进

 

　　本月初，全球最大的光刻机生产商 ASML 在德国的工厂发生火灾，引发半导体行业担心。台积电作为 ASML 光刻机的最大客户也回应了此事，他们表示不担心会对 2022 年生产有什么影响。

 

　　在日前的财报会上，台积电高层回应了 ASML 工厂火灾的问题，称没有理由担心这场火灾会对 2022 年的生产计划产生影响。

 

　　台积电强调，该公司的产能增长，包括 EUV 光刻在内的工艺都可以按计划完成，不担心 ASML 的履约能力。

 

　　目前台积电的 7nm 及以下工艺产能都需要 EUV 光刻机，根据财报透露的信息，在第四季度，台积电 7nm 制程芯片的出货量占到了总晶圆出货量的 27%，而 5nm 制程芯片占比则为 23%。

 

　　至于 ASML，根据他们之前的信息，虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早，但这次事件影响的主要是 EUV 光刻机生产，DUV 光刻机不受影响。

 

　　

 

　　EUV 光刻机是生产 7nm 以下工艺的关键设备，ASML 是全球唯一的 EUV 光刻机供应商，每台售价 1 亿欧元，将近 10 亿人民币，去年交付了 35 台 EUV 光刻机，今年计划交付 55 台 EUV 光刻机，三星、台积电及 Intel 是主要的客户。