东京电子将向 ASML 提供面向新一代 EUV 的设备

　　原标题：东京电子将向 ASML 提供面向新一代 EUV 的设备

 

　　6 月 11 日消息，据日经中文网报道，日本半导体制造设备大型企业东京电子（Tokyo Electron）6 月 8 日发布计划称，将向同行业的荷兰 ASML 和比利时的研究机构 imec 联合运营的实验室供应新一代设备。 东京电子将提供在半导体晶圆上涂布感光剂使之显影的「涂布显影设备」。这是东京电子首次向上述实验室提供设备。该设备将与 ASML 生产的属于尖端光刻设备的「EUV（极紫外）光刻设备」的新一代产品进行组合。